吸收设备 

吸收法选用低蒸发或不蒸发性溶剂对VOCs进行吸收，再运用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行别离。

含VOCs的气体自吸收塔底部进入塔内，在上升进程中与来自塔顶的吸收剂逆流接触，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂经过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。解吸后的吸收剂经过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs气体经过冷凝器、气液别离器后以较纯的VOCs气体脱离汽提塔，被回收运用。该工艺适合于VOCs浓度较高、温度较低的气体净化，其他情况下需求作相应的工艺调整。

吸附设备 

在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附。吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂。

固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，因为表面吸附质的浓集，使其吸附才干显着下降而吸附净化的要求，此刻需求选用必定的方法使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附才干，这个进程称为吸附剂的再生。因此在实践吸附工程中，正是运用吸附一再生一再吸附的循环进程，到达除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。

净化设备 

燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有用，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。但当处理含氯和含硫的有机化合物时，燃烧生成产品中HCl或SO2，需求对燃烧后气体进一步处理。

治理设备 

等离子体便是处于电离情况的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学 muir，于1927年在研讨低气压下汞蒸气中放电现象时命名的。等离子体由许多的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这便是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种情况。依据情况、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其间高温等离子体的电离度挨近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡情况，它首要应用在受控热核反应研讨方面。而低温等离子体则学非平衡情况，各种粒子温度并不相同。其间电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。一般气体放电子体归于低温等离子体。